改善扩散方阻均匀性的扩散炉

摘要

本实用新型涉及扩散炉技术领域，特别是一种改善扩散方阻均匀性的扩散炉，它包括炉管，炉管上的进气口和尾气管，在进气口设置气流均匀分散器。由于现有扩散设备在扩散过程中，工艺气体直接从炉管尾进气口进入炉管，没有分散，造成炉管内气流不均匀，最终造成扩散后方阻均匀性较差。通过在炉尾进气口添加匀流器，可以有效地改善气流均匀性，最终达到方阻均匀性改善的效果。