用于确定掺杂的半导体区域的有效掺杂浓度的方法

摘要

描述了用于光学地确定基本完全激活的掺杂分布图的方法（200）和系统。用一组物理参数来表征该基本完全激活的掺杂分布图。该方法（200）包括获得包含完全激活的掺杂分布图的样本和参照物、以及对于包含完全激活的掺杂分布图的该样本和对于该参照物，获得（210,230）光学调制的反射系数（PMOR）偏置曲线测量数据和DC反射系数测量数据。该方法还包括基于光学调制反射系数偏置曲线测量和DC反射系数测量二者，确定（220、240）掺杂分布图的一组物理参数的值。