一种复合气浮装置及使用复合气浮装置的硅片台移动装置

摘要

本实用新型公开了一种复合气浮装置，该复合气浮装置包括气缸缸体及在所述气缸缸体内移动的气浮柱塞杆，所述气浮柱塞杆的顶面均匀设置了多个气浮孔，所述气缸缸体外接气缸气源，所述气浮柱塞杆外接气浮柱塞杆气源，使得所述气浮柱塞杆在所述气缸缸体内移动的同时，所述气浮柱塞杆的顶面形成气浮面，从而减小了摩擦，提高了稳定性和定位精度。同时本实用新型还公开了一种使用复合气浮装置的硅片台移动装置，该硅片台移动装置包括承重平台、硅片台以及多个复合气浮装置，接通气源时，所述气浮柱塞杆的顶面与承重平台的表面形成气浮面，支撑所述硅片台在所述承重平台上移动，从而减小了摩擦，提高了稳定性和定位精度。