沉积源及包括这种沉积源的沉积设备

摘要

本发明提供一种沉积源及包括这种沉积源的沉积设备。所述沉积源包括：掺杂剂蒸发源；第一宿主蒸发源，包括位于所述掺杂剂蒸发源的一侧的第一蒸发源单元和位于所述掺杂剂蒸发源的另一侧的第二蒸发源单元；以及第二宿主蒸发源，包括位于所述掺杂剂蒸发源的所述一侧且与所述第一蒸发源单元平行布置的第三蒸发源单元，和位于所述掺杂剂蒸发源的所述另一侧且与所述第二蒸发源单元平行布置的第四蒸发源单元。