一种等离子体化学气相沉积法PECVD小车

摘要

本实用新型实施例公开了一种等离子体化学气相沉积法PECVD小车，包括：车身、台面、台面旋转体，旋转轴、肋板、缓冲汽缸和限位顶柱，所述台面安装在所述台面旋转体上，所述台面旋转体通过所述旋转轴安装在所述肋板上，所述肋板安装在所述车身上，所述缓冲汽缸和限位顶柱安装在所述车身和所述台面旋转体之间，还包括，安装在所述肋板上的防倾倒保护装置，通过添加了防倾倒保护装置，这个装置在小车运输过程中能保证小车台面不会发生任何倾斜，但是在装卸电池片时又能使小车台面倾斜45度角并且方便操作，有效保证了石墨舟和电池片的安全。