超精密液晶板检查仪镜头

摘要

本实用新型公开了一种超精密液晶板检查仪镜头，包括前镜筒、后镜筒，在前、后镜筒之间装与后镜筒连接的内连接环，前、后镜筒外套装与前、后镜筒连接的外镜筒，外镜筒前侧设置套装在前镜筒外的调整环，前、后镜筒中分别设置透镜片，透镜片外侧设置压环，每个透镜片的中心厚度均小于0.001mm。本实用新型结构合理，工作距长，能在液晶板生产线现场工作，而且视场宽广，可以远距离观察物体，分辨率高达0.001μm。可以通过CCD接收光电信号经图像处理后，检测出缺陷大小和类别，以便现场进行修补和报损判别。