飞秒激光对材料表面改性的微精细加工装置

摘要

本实用新型涉及一种飞秒激光对材料表面改性的微精细加工装置，由飞秒激光器、显微光路系统、高精度三维工作台和控制系统主机组成，飞秒激光器采发出的激光光束经显微光路系统后聚焦照射到位于三维工作台处的被加工部件上，显微光路系统包括加工观察用显微镜和带有CCD监控成像单元的光路系统，三维工作台与控制系统主机控制联接。本实用新型将飞秒激光作为加工光源，以其独特的超短持续时间和超强峰值功率特点，配合光学系统和高精度三维工作台并通过软件程序的控制，对材料表面改性进行精细加工，由于加工时没有热影响区存在，能够实现亚微米等级的超精密加工，为需要高精密加工的汽车工业、半导体、通讯工业方面等提供了非常有用的工具。