环形振荡器式数字压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种环形振荡器式数字压力传感器，包括至少二电学参数一致的环形振荡器、一混频器和一滤波器构成，二环行振荡器分布设置在硅梁结构的应力敏感集中区，其中一个环行振荡器的源漏极平行于应力方向；另一个环行振荡器的源漏极和应力方向垂直；混频器设置在非应力敏感的厚体硅上，滤波器是片外集成的；二环形振荡器输出连接到混频器输入，混频器输出连接到滤波器输入，滤波器输出作为压力传感器的输出。所述环形振荡器采用PMOS工艺制作奇数个反相器首尾相连构成。所述混频器是双栅MOS晶体管混频电路。