法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L9/02 授权公告日:20081001 终止日期:20151206 申请日:20071206
专利权的终止
2008-10-01
授权
授权
机译: 薄膜模零以生产电容模具薄膜绝对压力传感器,电阻模具薄膜绝对压力传感器和电容模具绝对压力传感器
机译: 电容式薄膜绝对压力传感器,电阻式薄膜绝对压力传感器以及制造电容式绝对压力传感器的薄膜形成方法
机译: 用于确定例如压力的压力传感器装置。绝对压力传感器膜片的绝对压力,传感器元件穿透外壳并局部伸入传感器室,评估电路布置在室外