物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置

摘要

一种物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置，包括一光源，沿该光源输出光束的前进方向依次是准直扩束镜、分束器和被测量物体，在所述的分束器的反射光束方向有一参考镜，在所述的参考镜4的反射光束穿过所述的分束器的透射光束方向是一光电探测元件，特点是还有由第一放大器、第二放大器和计算电路构成的相位探测电路，由实时解相电路、相位修正电路和表面形貌值计算电路依次连接构成的实时相位数据处理电路；由直流电源输出的电压和交流信号源输出的正弦调制信号经半导体电流调制器对所述光源进行驱动和调制；所述的表面形貌值计算电路的输出端接计算机。本实用新型能对物体表面形貌进行纳米精度的实时干涉测量，测量范围扩展到毫米量级。