法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-11
专利权有效期届满 IPC(主分类):G01N35/00 授权公告日:20070117 期满终止日期:20150206 申请日:20050206
专利权的终止
2007-01-17
授权
授权
机译: 一种制造微系统的方法,一种微系统,一堆包含微系统的箔,一种包含微系统的电子设备以及该电子设备的使用
机译: 一种制造微系统的方法,一种微系统,一堆包含微系统的箔,一种包含微系统的电子设备以及该电子设备的使用
机译: 一种制造微系统的方法,一种微系统,一堆包含微系统的箔,一种包含微系统的电子设备以及该电子设备的使用