法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-23
专利权有效期届满 IPC(主分类):H01J65/04 授权公告日:20061101 申请日:20051102
专利权的终止
2013-02-27
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J65/04 变更前: 变更后: 申请日:20051102
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2006-11-01
授权
授权
机译: 紫外线产生靶,电子束激发紫外线产生源以及制造紫外线产生靶的过程
机译: 紫外线产生靶,电子束激发紫外线产生源以及制造紫外线产生靶的过程
机译: 紫外线产生用靶,电子束激发紫外线光源以及紫外线产生用靶的制造方法