卧式电子束蒸发式真空镀膜机

摘要

一种工件以水平方向作旋转轴旋转的卧式电子束蒸发式真空镀膜机，电子束蒸发枪安装于工件架内部，工件架旋转轴为水平方向，工件以水平方向为轴进行公转或公自转。镀膜机主要由真空容器，电子束蒸发枪，工件架，反应充气系统，工件加热系统，真空抽气系统，膜厚测量控制系统组成。由于采用了卧式结构，从而使工件装载量大为提高且装载更为方便。实现了高效率、低成本镀膜。同时可以非常容易对圆柱状及管状工件以及大型工件进行均匀镀膜。