一种用于半导体工艺设备的工艺门水平调节装置

摘要

本发明公开了一种用于半导体工艺设备的工艺门水平调节装置，竖直安装在工艺门与固定盘之间的支撑柱附近，包括一个管型壳体，其内壁下端设有螺纹，装有调节螺钉，调节螺钉的下端与固定盘连接，壳体的上端装有带刻度的滑块，在滑块与调节螺钉之间的壳体内装有压缩弹簧，滑块的上端与工艺门相接触。本发明利用水平调节装置的壳体与调节螺钉相对转动产生的位移，驱使壳体内的弹簧带动滑块上升或下降，实现对工艺门水平度的直接观察和实时调整，可避免调平误差，节约调平时间，提高工艺质量和产能。