光学薄膜厚度在线实时监控仪

摘要

本实用新型公开了一种光学薄膜厚度在线实时监控仪，由硅光电池、光纤传感器、反光镜和透镜、放大器、滤波器、锁相器、调制器、耦合器、单色仪和光电倍增管、数据采集卡、计算机等组成，光源发出的两束光，分别经不同频率调制后，再各自经分束镜得到四束光线；其中两束光线由光纤进入单色仪、光电倍增管，另外两束光线由硅光电池接收，分别形成测试信号和参考信号的解调信号；由计算机可以进行显示、打印；同时，计算机不停地对变化的信号进行检测、比较，一旦该信号达到极值点的过正量或预先计算得到的反射率值时，通过伺服系统及时关闭挡板，停止膜层蒸镀；从而完成对膜层厚度的监控，实现镀膜过程的自动化。