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光学薄膜厚度实时监控系统检测电路设计

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摘要

提出了一种多层1/4波长膜系的薄膜厚度监控系统的检测电路的设计方法,该方法采用了以锁定放大器为核心的检测电路.根据锁定放大器的工作原理,提出了利用锁定放大器检测微弱信号的实验方法,并指出了影响测量的几个参数.

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来源
《探测与控制学报》 |2004年第3期|62-64|共3页
作者
倪原; 齐华; 李锂;
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作者单位

西安工业学院,陕西,西安,710032;

西安工业学院,陕西,西安,710032;

西安工业学院,陕西,西安,710032;

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正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
监控; 薄膜厚度; 光学常数;

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