法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2001-08-29
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2000-08-23
授权
授权
机译: 进/出管理系统,进/出管理系统认证设备,进/出管理系统管理设备,进/出管理系统便携式终端,进/出管理数据的数据结构,进/出管理程序以及进/出管理系统构建方法
机译: 室进/出检测装置室进/出检测方法及其上记录的具有程序的计算机可读记录介质
机译: 用于基板容器中的基板的检测装置,具有该检测装置的基板的进/出装置,以及具有该基板的进/出装置的基板处理装置