公开/公告号CN2289806Y
专利类型
公开/公告日1998-09-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院福建物质结构研究所;
申请/专利号CN96206397.5
申请日1996-03-13
分类号C30B29/14;C30B7/00;
代理机构
代理人
地址 350002 福建省福州市鼓楼区山头角123号
入库时间 2022-08-21 22:38:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2002-04-24
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-09-02
授权
授权
机译: 用于碳化硅单晶生长籽晶的碳化硅单晶生长籽晶的制造方法,碳化硅单晶的制造方法以及碳化硅单晶
机译: 晶圆载具系统,晶圆载具,具有晶圆和晶圆载具的系统以及掩模对准器
机译: 用于单晶生长的种晶,种晶的安装方法,用于单晶生长的坩埚