双岛五梁结构单块硅加速度传感器

摘要

本实用新型属于半导体硅加速度传感器的领域。硅芯片采用双岛五梁的微机械结构，力敏元件集中在二维图形对称中心的梁区上，因而可消除或显著减小横向效应，得到横向效应小，灵敏度高而工艺可控性好的单块硅加速度传感器。