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用于大口径光学元件精密检测平台的空间误差计算方法

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摘要

用于大口径光学元件精密检测平台的空间误差计算方法，涉及光学元件检测。将空间误差分解为X、Y平面内误差和该平面沿Z轴运动后由Z轴所引起的误差，综合利用这两部分误差值，通过分别对X、Y两轴联动误差、Z轴定位误差进行多项式拟合以及将Z轴实际运动轨迹分别向ZO

1. 用于大口径光学元件精密检测平台的空间误差计算方法 [P] . 中国专利： CN103438800B . 2016.04.06
2. 一种大口径非球面光学元件精密检测平台Z轴配重装置 [P] . 中国专利： CN103398686B . 2015.12.23
3. Optical glass, preform for precision press molding, method for manufacturing preform for precision press molding, optical element, and method for manufacturing optical element [P] . 美国专利： US8012896B2 . 2011-09-06

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4. OPTICAL GLASS, PREFORM FOR PRECISION PRESS MOLDING, METHOD FOR MANUFACTURING PREFORM FOR PRECISION PRESS MOLDING, OPTICAL ELEMENT, AND METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL ELEMENT [P] . 美国专利： US2009099002A1 . 2009-04-16

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5. AUTOMATED GRASPING APPARATUS AND METHOD FOR PRECISE AND CLEAN ASSEMBLY OF LARGE-APERTURE OPTICAL ELEMENT [P] . 世界知识产权组织专利： WO2019075878A1 . 2019-04-25

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