大口径光学精密检测平台空间误差的计算方法

摘要

针对大口径光学元件精密检测平台空间误差难以直接测量的问题,提出了一种空间误差计算方法.首先,将空间误差分解为平面内两轴联动误差和该平面沿第三轴运动所引起的误差;其次,利用上述两项误差,基于多项式拟合和平面几何相关理论,求解出空间误差值;运用球杆仪、激光干涉仪等设备对于模型中所涉及的多项几何误差进行测量,计算得到检测平台的空间误差值为-5.22~5.80μm;为验证本方法的正确性,以泰勒霍普森的Form Talysurf PGI 1240轮廓仪的校准半球为基准进行测量,测量结果为半球半径的误差值为-5.02~5.37μm,与计算得到的空间误差结果一致,证明了该方法的正确性和有效性.