公开/公告号CN1177012C
专利类型发明授权
公开/公告日2004-11-24
原文格式PDF
申请/专利权人 三井金属鉱业株式会社;
申请/专利号CN01803411.X
申请日2001-04-06
分类号C09K3/14;C01F17/00;B24B37/00;H01L21/304;
代理机构上海专利商标事务所;
代理人沙永生
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 08:57:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2004-11-24
授权
授权
2003-04-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-01-29
公开
公开
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