一种传感参数可控的钯纳米粒子点阵氢气传感器

摘要

一种传感参数可控的钯纳米粒子点阵氢气传感器，包括一对带有金属电极（102）的绝缘柔性衬底（101）、电极之间的Pd纳米粒子点阵（103）；设有柔性衬底进行形变的形变控制装置（105）；电极之间还设有相应的信号监控装置（104）。本发明通过应变的调节可以控制钯纳米粒子点阵的工作距离在多个区间变化，从而有效的调节氢气传感器的灵敏压强和时间等传感参数。能够在不改变Pd纳米粒子沉积量和电极结构的情况下，实时地调整Pd纳米粒子点阵的氢气气敏性能指标。进一步扩展此传感器的应用范围且降低使用成本。本发明的氢气传感器可用于工业和科学研究中涉及用氢安全和需要定量探测氢气的诸多领域。