一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法

摘要

专利申请号:CN201510760530.0公开号:CN105334245A申请日:2015.11.10公开日:2016.02.17申请人:湖北大学本发明公开一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法,是在基于专利《一种氧化钼纳米纤维纸及其制备方法》(201510308204.6)制得的氧化钼纳米纤维纸的一侧面溅射金属Pt/Pd纳米颗粒阵列方法,包括:在氧化钼纳米纤维纸上覆盖金属掩膜版,再在磁控真空溅射设备内溅射Pt/Pd纳米颗粒阵列构成电极,将溅射后的纳米纤维纸从中间切断即成为二个性能相同的氢敏元件,将氢敏元件封装到IC基座中即为氢气传感器成品。不同材质纳米颗粒、不同溅射时间及溅射功率,可制得不同响应和恢复时间的传感器。