一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法

摘要

本发明公开一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法，是在基于专利《一种氧化钼纳米纤维纸及其制备方法》（201510308204.6）制得的氧化钼纳米纤维纸的一侧面溅射金属Pt/Pd纳米颗粒阵列方法，包括：在氧化钼纳米纤维纸上覆盖金属掩膜版，再在磁控真空溅射设备内溅射Pt/Pd纳米颗粒阵列构成电极，将溅射后的纳米纤维纸从中间切断即成为二个性能相同的氢敏元件，将氢敏元件封装到IC基座中即为氢气传感器成品。不同材质纳米颗粒、不同溅射时间及溅射功率，可制得不同响应和恢复时间的传感器。所述传感器制造工艺简单、耗能低、成本低，能在常温下工作，响应和恢复时间短、灵敏度高，稳定性好，寿命长且能重复利用，所述氢敏元件还便于集成在各种多路传感器中。