磁控电极装置及包含磁控电极装置的等离子处理系统

摘要

本发明涉及一种磁控电极装置及包含磁控电极装置的等离子处理系统。所述磁控电极装置包含：第一电极组件；第一磁性体组，具有复数个第一磁性体；第二电极组件；以及第二磁性体组，具有复数个第二磁性体；其中，所述第一磁性体组中相邻的所述第一磁性体的磁极性彼此相异，所述第二磁性体组中相邻的所述第二磁性体的磁极性彼此相异，且所述第一磁性体组中所述第一磁性体的磁极性与相邻之所述第二磁性体组中所述第二磁性体的磁极性彼此相异。本发明可大幅提升等离子密度，以达到高沉积速率同时改善沉积制程的可控制性与稳定性。