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熊娟; 顾豪爽; 胡宽; 吴小鹏;
中国硅酸盐学会;
体声滤波器; 氮化铝薄膜; 制备工艺; 钼电极; 工艺参数优化;
机译:射频磁控反应溅射AlN薄膜的光学模型
机译:直流磁控反应溅射InN薄膜电极作为水溶液中的光阳极。制备和氮退火电极的研究
机译:使用反应溅射在MO电极/蓝宝石衬底上的ALN薄膜的低温外延生长
机译:直流电的调查磁控反应溅射AlN薄膜应用于GaAs器件钝化
机译:氧化铝的双磁控反应溅射。
机译:溶胶-凝胶法和磁控反应溅射制备Eu掺杂ZnO薄膜的结构性能与能量转移的相关性
机译:射频和直流磁控反应溅射TiO 2薄膜的气敏特性
机译:用于mEms应用的低应力alN压电薄膜的直流磁控反应溅射
机译:用较小的溅射阴极对大衬底上的薄膜磁控脉冲溅射直流磁控反应溅射的方法和装置
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