一种数字式波长编码光学绝对位移传感器

摘要

本发明提供一种数字式波长编码光学绝对位移传感器，利用入射光斑入射到编码光栅尺上得到的波段编码信号，经解调后转化为数字式的电信号，建立起位移与波长编码的一对一关系。解调系统直接给出数字信号，有利于解调系统的微型化处理，传感器部分及信号的传输部分均为光信号传输，能够抗电磁干扰；根据不同的波长信息，决定信号的有无，不是依靠光信号的强度信息，不存在振动、光纤传输损耗、光源强度波动等产生的信号强弱变化带来的错码问题，相对于目前采用变栅距光栅的波长编码传感器而言，其不需要连续光源，解调部分利用感光面积较大的色敏元件替代了线阵CCD等，提高了响应频率，同时将传感器的高低温适应性提高。