可精确修调温漂误差的陶瓷压力传感器芯片及修调系统和修调方法

摘要

本发明涉及一种可精确修调温漂误差的陶瓷压力传感器芯片及修调系统和修调方法。现有陶瓷压力传感器不便修调温漂误差，且缺乏工业化修调的设备和技术。为此，本发明所述陶瓷压力传感器芯片包括芯片本体，其内的惠斯登电桥电路接有组合温漂补偿电阻，该组合温漂补偿电阻包括可修调电阻和多个粗调电阻，各个粗调电阻两端分别连接在两条印制金属箔线上，所述可修调电阻串接在其中一条金属箔线上。其温漂修调系统包括温漂分选系统和温漂修调系统。本发明还涉及相应的温漂修调方法。本发明所述陶瓷压力传感器芯片具有结构简单、便于工业化精确修调温漂误差的优点，其修调系统设备及修调方法设计科学、效率高，成本低，适合陶瓷压力传感器生产企业使用。