边界温度控制阵列型波前控制装置及其制造方法

摘要

本发明涉及一种边界温度控制阵列型波前控制装置，包括：镜片（1）、底座（2）、热沉（3）以及加热制冷单元（4），其中，所述镜片（1）安装在所述底座（2）的一侧，所述热沉（3）以及加热制冷单元（4）安装在所述底座（2）的另一侧。本发明提供的边界温度控制阵列型波前控制装置可以改变能动光学的光学元件面形和提高校正能力，并且当改变与波前阵面区域一致的加热\制冷单元周围的热沉局部导热情况后可以改变不同温度点或相同温度点的形变幅度。本发明结构简单，调节精度高，响应速度快。