背照式图像传感器及降低背照式图像传感器暗电流的方法

摘要

一种背照式图像传感器及降低背照式图像传感器暗电流的方法，所述背照式图像传感器包括：光电二极管；第一导电类型隔离层；传输管的栅极结构，对应于所述第一导电类型隔离层形成于所述第一导电类型半导体衬底的上表面；所述栅极结构包含：栅氧化层、栅极层和栅极侧墙；所述栅极结构对应覆盖所述光电二极管；浮置扩散区，形成于所述第一导电类型半导体衬底内，具有第二导电类型重掺杂。所述背照式图像传感器中，光电二极管正上方的第一导电类型半导体衬底表面不易出现缺陷，从而有效防止暗电流的产生。