无氮添加臭氧产生单元及臭氧气体供给系统

摘要

本发明的目的在于获得一种谋求无氮添加臭氧产生器单元的小型化的无氮添加臭氧产生单元，该无氮添加臭氧产生器单元附带具有用于输出高纯度、高浓度的臭氧气体的多个机构的功能。而且，在本发明中，气体配管集成模块(30)具有多个内部配管路线(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路线与向放电面涂敷有用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)、控制机构(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)连结起来，形成从原料气体供给口经由APC而到达无氮添加臭氧气体产生器的原料气体输入配管路线及从无氮添加臭氧产生器经由气体过滤器、MFC而到达臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路线实现一体化的单元。