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公开/公告号CN104201059B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-20
原文格式PDF
申请/专利权人 太原理工大学;
申请/专利号CN201410444896.2
发明设计人 赵清华;李刚;于洋;张文栋;李朋伟;郭兴军;程超群;
申请日2014-09-03
分类号
代理机构太原科卫专利事务所(普通合伙);
代理人朱源
地址 030024 山西省太原市迎泽西大街79号
入库时间 2022-08-23 09:34:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-20
授权
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01H59/00 申请日:20140903
实质审查的生效
2014-12-10
公开
机译: 静电射频MEMS开关
机译:基于热扣束设计的大功率温度稳定静电射频MEMS电容开关
机译:用于近零功率射频唤醒接收器的静电AlN RF MEMS开关的设计与制造
机译:在GaAs基板上静电驱动射频电容MEMS开关
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机译:带有金属合金电触点的静电射频(RF)微机电系统(MEMS)开关。
机译:严重欠阻尼边缘场静电MEMS执行器的改善开关时间的实时直流动态偏置方法
机译:用于射频应用的新型四态高偏转低致动电压静电MEMS开关
机译:具有金属合金电触点的静电射频(RF)微机电系统(mEms)开关