一种差分电容式微加速度计

摘要

本发明公开了一种差分电容式微加速度计，它包括上移动板、下移动板和固定在上移动板和下移动板上的弹性梁，所述的上移动板和下移动板的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板和下移动板之间还设置有固定极板，所述的固定极板为菱形。其优点是：结构简单，制作工序简单，且电容差值变化沿一定的规律变化，可简化后续的信号处理电路。