法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/8238 授权公告日:20041229 终止日期:20181030 申请日:20021030
专利权的终止
2011-03-09
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/8238 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2011-03-09
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/8238 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2004-12-29
授权
授权
2004-12-29
授权
授权
2003-07-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-07-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-05-07
公开
公开
2003-05-07
公开
公开
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