一种MoN/CrN纳米复合涂层及其沉积方法

摘要

本发明涉及一种MoN/CrN纳米复合涂层，沉积MoN/CrN纳米复合涂层于活塞环上的方法及相关设备，属于真空电弧离子镀技术领域。该MoN/CrN纳米复合涂层包括活塞环表面的衬底材料原子与Mo离子混合沉积而成的过渡层及MoN纳米层与CrN纳米层周期交替沉积复合而成纳米复合薄膜层。通过在Mo靶和Cr靶中央设置2个呈90°交叉垂直的隔板来控制MoN/CrN纳米复合涂层厚度15～30nm，周期数100～1000实现在活塞环上沉积MoN/CrN纳米复合涂层。该活塞环有良好的结合力和耐磨耐温性能，保证了活塞环长期稳定工作，使活塞环工作性能大幅度提高，降低了厂家的生产成本。