法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/67 登记生效日:20181130 变更前: 变更后: 申请日:20111018
专利申请权、专利权的转移
2016-01-20
授权
授权
2012-06-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20111018
实质审查的生效
2012-05-16
公开
公开
机译: 具有衬底加热方法的衬底温度测量仪器和热处理装置-通过光加热衬底,使用热电偶,其盖子部分由高热而部分由高导电性材料制成
机译: 处理半导体衬底的半导体衬底的方法和半导体衬底的处理装置
机译: 具有多个衬底的热处理室和具有相同衬底的衬底的热处理装置