法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-30
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/02 授权公告日:20151216 终止日期:20170315 申请日:20120315
专利权的终止
2015-12-16
授权
授权
2013-04-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20120315
实质审查的生效
2013-03-27
公开
公开
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