飞秒激光在PMMA内制造三维微通道的方法及其装置

摘要

本发明提供一种飞秒激光在PMMA内制造三维微通道的方法及其装置，涉及一种激光微加工技术领域。该发明包括：选取PMMA板材将其切割为规格不等的薄片,并放置在中央开孔的不锈钢支撑块的中央；飞秒激光经反射镜将光路导向衰减片，通过一组爬升架将光束水平高度提升至与显微聚焦系统入光口平齐位置，并由反射镜导入；聚焦激光从工件下表面自下而上的沿预设的加工轨迹进行加工；经飞秒激光直写加工后将工件上下表面反转放置于三维加工平台上并进行通道入口修复性直写；将工件浸入蒸馏水中进行超声波清洗，将激光烧蚀有机玻璃产生的残渣及碎屑排除，得到中空三维微通道。本发明具有工艺流程简便、工业应用前景广阔、制作成本低廉等优点。