利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法

摘要

利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法，首先飞秒激光光束聚集在石英玻璃下表面，石英玻璃固定在三维精密工作台上，使飞秒激光束焦点在石英玻璃内部由下而上扫描出所需微螺旋轨迹轮廓；然后将扫描出的石英玻璃基底浸泡在氢氟酸溶液中，腐蚀掉经过飞秒激光作用的区域，直到形成上下贯通的微螺旋通道，本发明具有工艺简单、成本低的优点。