光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置

摘要

光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，属于深紫外投影光刻物镜装调技术领域，为解决现有光学元件检测装置存在的对镜片面型影响大、支撑力不均匀的问题，该装置包括光学元件、多个气囊、底座、充气管和转接头；光学元件放置于多个气囊上；所述的多个气囊在底座上面沿圆周均匀分布设置；气囊通过转接头与充气管相连接；所述气囊包括气袋，底部两侧设置两排螺纹孔，底部设置进气孔；底座包括长孔、螺钉孔、减重孔和凹槽；气囊的进气孔伸入底座的长孔内；所述的气囊底部的螺纹孔与底座上的螺钉孔通过螺钉相连接；减重孔设置在底座中心圆形区域；凹槽与充气管配合；有效降低调整力对光学元件面型的影响；避免了机械夹持时出现的三叶像差和像散。