公开/公告号CN103740281B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-25
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市力合材料有限公司;清华大学;深圳清华大学研究院;
申请/专利号CN201310753521.X
申请日2013-12-31
分类号
代理机构深圳市鼎言知识产权代理有限公司;
代理人哈达
地址 518108 广东省深圳市南山区松白路西丽南岗第二工业园九栋一楼
入库时间 2022-08-23 09:32:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C09G1/02 授权公告日:20151125 终止日期:20161231 申请日:20131231
专利权的终止
2015-11-25
授权
授权
2014-05-21
实质审查的生效 IPC(主分类):C09G1/02 申请日:20131231
实质审查的生效
2014-04-23
公开
公开
机译: 抛光组合物和使用该抛光组合物的硅晶片的抛光方法,以及使用该抛光组合物和硅晶片漂洗的漂洗组合物和方法
机译: 用于硅晶片的粗抛光的组合物的制造方法,用于硅晶片的粗抛光的组合物和硅晶片的抛光方法
机译: 硅晶片粗糙抛光组合物的生产方法,硅晶片粗糙抛光组合物和硅晶片抛光方法