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一种硅片与硅基太阳能电池的少数载流子传输特性检测方法

摘要

本发明公开了一种硅片与硅基太阳能电池的少数载流子传输特性检测方法与系统。所述方法由正弦规律调制808nm半导体激光激励、短波红外探测器采集少数载流子辐射复合发光信号及发光信号锁相处理与少数载流子运输参数分析三个步骤组成;所述系统包括激光激励装置、函数发生器、短波红外探测器、锁相放大器及计算机。本发明应用短波红外探测技术与信号采集及锁相处理技术得到调制激光诱发半导体硅片与硅基太阳能电池的载流子辐射复合发光的频域响应特性,利用少数载流子辐射复合发光频响特性分析得到少数载流子传输特性参数,这是一种快速、准确及全面获取少数载流子传输特性参数的无损检测方法。

著录项

  • 公开/公告号CN103929128B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-12-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 哈尔滨工业大学;

    申请/专利号CN201410161986.0

  • 发明设计人 刘俊岩;王扬;秦雷;宋鹏;

    申请日2014-04-22

  • 分类号H01L21/66(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

  • 入库时间 2022-08-23 09:32:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-12-02

    授权

    授权

  • 2014-08-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):H02S50/10 申请日:20140422

    实质审查的生效

  • 2014-07-16

    公开

    公开

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