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公开/公告号CN103929128B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-12-02
原文格式PDF
申请/专利权人 哈尔滨工业大学;
申请/专利号CN201410161986.0
发明设计人 刘俊岩;王扬;秦雷;宋鹏;
申请日2014-04-22
分类号H01L21/66(20060101);
代理机构
代理人
地址 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
入库时间 2022-08-23 09:32:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-02
授权
2014-08-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H02S50/10 申请日:20140422
实质审查的生效
2014-07-16
公开
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