大行程微驱动精密二维工作台

摘要

本发明公开了一种大行程微驱动精密二维工作台，主要由底座、二维平面内互为垂直的X、Y双向进给装置、以及进给装置顶部工作台面组成，Y向进给装置设置在X向进给装置之上；X向进给装置包括X向大行程进给装置和X向微进给装置，Y向进给装置包括Y向大行程进给装置和Y向微进给装置；Y向大行程进给装置设置于X向微进给装置之上且能随X向微进给装置的进给动作而移动；底座的过渡连接板与机床连接。工作台的微细精密驱动配合大行程位移输出，输出力大、位移分辨率高、位移范围大，在超精密加工中具有广泛的应用前景。配合冷却系统它还避免了长时间精密加工生热影响进给精度的加工困境。