制造CIGS薄膜太阳能电池的吸收层的反应装置及方法

摘要

本发明属于太阳能电池制造领域，尤其涉及制造CIGS薄膜太阳能电池吸收层的反应装置及方法。该反应装置包括，一可提供柔性衬底并具有一可密闭的供应腔室的供应室；一具有贯设其中且可密闭的反应通道的反应室；一具有一可密闭的收料腔室的收料室；一控制系统，包括多个可控制气体进入个腔室的阀门以及可检测个腔室内气体状态的检测组件；各腔室连通构造成一个密闭空间，所述反应通道密闭连接有一可动态调节所述反应通道内气体状态的气体平衡器。如此，通过该气体平衡器可动态调节反应通道内的气体状态，使其始终处于反应所需的气体状态，确保了吸收层沉积于所述预置层上的均匀性，提高生产良率。