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一种用于强流电子注分析仪的可移动极间距电子枪系统

摘要

本发明公开了一种用于强流电子注分析仪的可移动极间距电子枪系统,包括一个主真空腔体和位于主真空腔体内的电子枪,所述主真空腔体横向水平安置。所述电子枪系统还包括一个同心轴组件,其从所述主真空腔体的后端水平插入,并且,其一端位于所述主真空腔体内,另一端延伸于所述主真空腔体)外。所述电子枪包括一个阳极、一个阴极和一个栅极,且所述阴极和所述栅极安装在所述同心轴组件上。本发明可以实现强流电子枪系统各电极之间距离在热测过程中独立调节,可以通过优化实验设计得到最佳电子枪系统几何参数,这比目前分析器电子枪系统成百倍地节省时间、人力、物力。并且,本发明的电子枪可加到100kV,并能横向接入大型强流电子注分析仪中使用。

著录项

  • 公开/公告号CN103376343B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-11-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院电子学研究所;

    申请/专利号CN201210132572.6

  • 申请日2012-04-28

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人宋焰琴

  • 地址 100080 北京市海淀区北四环西路19号

  • 入库时间 2022-08-23 09:31:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-12

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J29/48 授权公告日:20151104 终止日期:20180428 申请日:20120428

    专利权的终止

  • 2015-11-04

    授权

    授权

  • 2013-11-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R1/28 申请日:20120428

    实质审查的生效

  • 2013-10-30

    公开

    公开

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