一种使用悬浮衬套管氨热法生长氮化镓体单晶的装置和方法

摘要

本发明公开了一种使用悬浮衬套管氨热法生长氮化镓体单晶的装置和方法。所述的装置，包括高压釜、衬套管、电阻炉以及一用于冷却并转移衬套管的冷却容器，该冷却容器为液氮罐或杜瓦瓶。所述的方法包括：1)向衬套管内加入培养料，焊接衬套管的顶盖和管口，置于真空手套箱中，经充液管加入卤化氨盐和液氨，密封充液管，将其放入预先填充有致冷剂的冷却容器中，密封冷却容器；2)向经冷却处理后的高压釜中填充液氨；3)取出被冷却的衬套管并置于高压釜中，密封高压釜，将其置于电阻炉中，设置生长区和溶解区的温度，经过生长得到氮化镓体单晶。采用上述装置和方法生长氮化镓体单晶，可以保证衬套管在近似恒温的条件下转移至高压釜中，且不泄露。