公开/公告号CN1195888C
专利类型发明授权
公开/公告日2005-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 LPKF激光和电子股份公司;
申请/专利号CN98800775.4
发明设计人 格哈德·瑙恩多夫;霍斯特·维斯布洛克;
申请日1998-06-03
分类号C23C18/14;C23C18/54;H05K3/10;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人刘明海
地址 德国加尔布森
入库时间 2022-08-23 08:57:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 18/14 授权公告日:20050406 终止日期:20160603 申请日:19980603
专利权的终止
2017-07-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 18/14 授权公告日:20050406 终止日期:20160603 申请日:19980603
专利权的终止
2005-04-06
授权
授权
2005-04-06
授权
授权
2005-04-06
授权
授权
2002-07-24
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 变更前:
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2002-07-24
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20020530 申请日:19980603
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2002-07-24
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20020530 申请日:19980603
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2002-07-24
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前:
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2002-07-24
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20020530 申请日:19980603
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2002-07-24
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20020530 申请日:19980603
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2002-07-24
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前:
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2000-11-15
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
2000-11-15
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
2000-11-15
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
2000-11-08
公开
公开
2000-11-08
公开
公开
2000-11-08
公开
公开
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机译: 在非导电载体上形成电路结构的制造方法
机译: 用于电力电子设备的电路板制造涉及在非导电基材两侧的导电层上设置导电条和散热器,并在导电条上固定散热组件
机译: 在等离子体增强蚀刻工艺中动态控制一种或多种蚀刻剂浓度的方法,用于在集成电路结构上形成导电材料的图案层