一种热-静电强回复型MEMS四点支撑悬挂梁结构

摘要

本发明公开了一种热-静电强回复型MEMS四点支撑悬挂梁结构，包括衬底、涂敷于衬底顶面上的静电下拉电极、锚区、悬挂主梁和弯折支撑梁。所述悬挂主梁通过四个锚区和弯折支撑梁悬挂在衬底上方；所述悬挂梁在下拉态（“down”态）向悬挂态（“up”态）转换过程中，通过对弯折支撑梁的欧姆加热，使悬挂主梁受到拉伸作用，提高了悬挂主梁的有效刚度，增强了回复力；所述弯折支撑梁中的纵梁采用双根并列的宽窄梁设计，使悬挂主梁更稳定，且加热后更有利于悬挂主梁从“down”态回复到“up”态。本发明还公开了增强回复力的具体工作方式，方法简单、方便可行。