利用飞秒激光湿法刻蚀制备准周期微透镜阵列的方法

摘要

利用飞秒激光湿法刻蚀技术制备大规模准周期微透镜阵列的方法，根据所需要加工的准周期微透镜个体平均尺寸，控制精密加工平台移动靶材的速率，飞秒激光每隔固定时间在靶材表面作用1个脉冲，在靶材上以飞秒激光脉冲作用焦点为中心产生一个光破坏区；利用体积浓度为1％至10％的氢氟酸溶液对飞秒激光加工后的靶材进行化学腐蚀，并且用超声波水浴加热辅助，将腐蚀之后的靶材在去离子水中彻底清洗干净，即为一块大规模准周期微透镜阵列的模板成品；本发明具有高效率、低成本、微透镜个体形貌尺寸可控等优点，并且能够有效避免匀光过程中产生的激光聚焦空气击穿效应、周期光场耦合叠加效应等负面影响。